XRF测厚重复性好，为什么仍可能偏差大｜日立 FT110A

选型时需要明确的任务

台式XRF镀层分析需要确定层序、组成、基体和参考，空间定位与模型同样重要。

参考：L1 · 高测具体产品资料：FT110A；P1 · Hitachi 原厂台式XRF测厚产品资料

把任务落实到核对清单

将样品、配置、参考及判读条件随原始记录保存，便于比较。

参考：P1 · Hitachi 原厂台式XRF测厚产品资料

参考必须与层系和范围相匹配

元素片或其它镀层结构的参考，不能不经验证就支撑当前多层方法。参考检查用于评价状态，代表件还要检验几何和模型。将短期重复性、独立参考偏倚与位置变异分别保存，避免一个指标包揽准确性。

参考：P1 · Hitachi 原厂台式XRF测厚产品资料

配置与结果的解释范围

重复性评价的是短期离散，准确性还受模型、密度和基体影响。

参考：P1 · Hitachi 原厂台式XRF测厚产品资料

产品资料与本次检测任务的边界

日本日立 Hitachi FT110A型号资料与配置核对 ↗：日立 FT110A 台式 XRF 镀层测厚仪。本篇主产品资料入口；用于核对本文讨论任务所需的附件、配置与方法条件，不把型号名称视为应用效果证明。

参考：L1 · 高测具体产品资料：FT110A

本文涉及的仪器（点击核对配置与适用范围）