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ENEPIG多层体系,哪些参数最容易互相影响|日立 FT160 / FT160L / FT160S

核对Ni/Pd/Au顺序及各层组成;使用覆盖代表范围的参考样。模型参数相关性会造成补偿,拟合稳定不等于每层都准确,应做独立验证。

ENEPIG多层体系,哪些参数最容易互相影响|日立 FT160 / FT160L / FT160S:主题封面
高测仪器 · 技术与应用笔记

本次样品与测量目标

日立 FT160 台式 XRF 镀层测厚仪实验室实拍
FT160 / FT160L / FT160S(日立 Hitachi)设备图 · 来源见产品页资料说明

核对Ni/Pd/Au顺序及各层组成,使用覆盖代表范围的参考样。

参考:L1 · 高测具体产品资料:FT160 / FT160L / FT160S;P1 · Hitachi 原厂台式XRF测厚产品资料

把任务落实到核对清单

将样品、配置、参考及判读条件随原始记录保存,便于比较。

核对环节需要明确的内容
任务重点核对Ni/Pd/Au顺序及各层组成
测量条件使用覆盖代表范围的参考样
解释范围模型参数相关性会造成补偿,拟合稳定不等于每层都准确,应做独立验证

参考:P1 · Hitachi 原厂台式XRF测厚产品资料;M1 · 日立原厂XRF应用技术报告目录|XRF130 Ni/Pd/Au三层镀膜

ENEPIG多层体系,哪些参数最容易互相影响|日立 FT160 / FT160L / FT160S:样品与技术条件示意
围绕本文检测任务绘制的技术示意图,不代表实测结果。

层结构不明时,稳定拟合也可能错误

测厚解释依赖层序、组成与基体。密度或材料假设错误时,软件仍可能给出平稳的厚度结果。先核对实际结构和参考,再检查模型参数相关性;未知层系可用独立方法补证,不用默认模板猜齐。

参考:P1 · Hitachi 原厂台式XRF测厚产品资料;M1 · 日立原厂XRF应用技术报告目录|XRF130 Ni/Pd/Au三层镀膜

电子表面处理的厚度与功能分开验收

各层厚度只覆盖一部分质量信息。焊接可靠性、腐蚀、孔隙或金属间化合物可能需要其它检测。把通用XRF方法与具体产品规范分别核对,报告每层及每点,不用平均厚度盖住局部薄区。

参考:P1 · Hitachi 原厂台式XRF测厚产品资料

配置与结果的解释范围

模型参数相关性会造成补偿,拟合稳定不等于每层都准确,应做独立验证。

参考:P1 · Hitachi 原厂台式XRF测厚产品资料

产品资料与本次检测任务的边界

日本日立 Hitachi FT160 / FT160L / FT160S型号资料与配置核对 ↗:日立 FT160 台式 XRF 镀层测厚仪(电子行业)。本篇主产品资料入口;用于核对本文讨论任务所需的附件、配置与方法条件,不把型号名称视为应用效果证明。

参考:L1 · 高测具体产品资料:FT160 / FT160L / FT160S

方法与厂商参考资料

参数及应用条件可通过以下原厂与方法资料核对。

本文涉及的仪器(点击核对配置与适用范围)

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