↗喷金喷碳一体机
在同一平台配置金属溅射与碳蒸发，便于按形貌或元素分析任务选择膜材。两种模式的源、运行条件与污染管理应分别确认。
选型时要逐项确认
| 选型维度 | 为什么影响结果 | 需要提供的信息 |
|---|---|---|
| 观察还是元素分析 | 金属膜和碳膜都会改变表面，可能干扰元素谱。 | 后续是SEM形貌、EDS还是其他分析，重点元素有哪些？ |
| 尺寸与耐受 | 样品台、真空、温度和镀膜厚度共同影响形貌保真。 | 样品尺寸、导电性和热敏性如何，是否含易挥发组分？ |
| 靶材与运行条件 | 靶材、碳源、真空泵及气体条件需对应具体任务。 | 需要哪种膜材、目标膜厚与每批样品数量？ |
方法的适用边界
- 样品状态及制备过程会影响结果，应保留工序、耗材和测量条件。
品牌与型号资料
↗常见问题
喷金喷碳一体机选型需提供哪些样品信息？
后续是SEM形貌、EDS还是其他分析，重点元素有哪些？；样品尺寸、导电性和热敏性如何，是否含易挥发组分？；需要哪种膜材、目标膜厚与每批样品数量？
喷金喷碳一体机的自动化配置应如何确认？
将装样、运行、定位、记录和清洗分开核对，再用代表样确认可重复性与完整处理时间。
方法与厂商参考资料
参数及应用条件可通过以下原厂与方法资料核对。