FSEM AC200
喷金喷碳一体机
FSEM AC200组合金属溅射与碳蒸发，可按样品及后续分析任务选择导电膜路线。切换膜材时应确认源配置、交叉污染和清洁流程，金属膜与碳膜的运行参数分别记录。
适用任务与应用方向
- 多材料SEM制样
- 形貌观察与EDS样品制备的路线切换
- 材料研发实验室导电膜配置
配置与技术资料
参数须连同测试条件和选配附件确认。
| 资料项目 | 现有资料表述 |
|---|---|
| 模式 | 金属溅射及碳蒸发 |
| 源配置 | 32 mm金属靶与V型碳绳结构 |
| 样品台 | 升降、倾斜、旋转 |
| 真空腔室 | Φ160 × 120 mm |
围绕 FSEM AC200 的选型核对
| 维度 | 判断依据 | 咨询前准备 |
|---|---|---|
| 观察还是元素分析 | 金属膜和碳膜都会改变表面，可能干扰元素谱。 | 后续是SEM形貌、EDS还是其他分析，重点元素有哪些？ |
| 尺寸与耐受 | 样品台、真空、温度和镀膜厚度共同影响形貌保真。 | 样品尺寸、导电性和热敏性如何，是否含易挥发组分？ |
| 靶材与运行条件 | 靶材、碳源、真空泵及气体条件需对应具体任务。 | 需要哪种膜材、目标膜厚与每批样品数量？ |
附件、耗材与安装条件
将主机、附件、校准和验收条件逐项核对。
核对样品验证与交付服务范围 →先明确方法边界
- 样品状态及制备过程会影响结果，应保留工序、耗材和测量条件。
常见问题
FSEM AC200 的采购配置表应列出哪些内容？
观察还是元素分析、尺寸与耐受、靶材与运行条件
询价 费马科仪 FEMA FSEM AC200 前需提供哪些样品条件？
目标任务可从多材料SEM制样、形貌观察与EDS样品制备的路线切换开始说明；还需补充：后续是SEM形貌、EDS还是其他分析，重点元素有哪些？；样品尺寸、导电性和热敏性如何，是否含易挥发组分？；需要哪种膜材、目标膜厚与每批样品数量？
如何核对 FSEM AC200 报价与验收范围？
请将主机型号、模式、源配置、选件、软件和服务逐项对应。验收需约定代表样、测试条件和输出结果，具体价格、交期与服务以双方确认方案为准。
方法与厂商参考资料
参数及应用条件可通过以下原厂与方法资料核对。