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FSEM AA200
喷金仪
FSEM AA200采用双靶位，可按任务选择不同金属膜或评估叠层制备。配合可倾斜旋转的样品台，需确认遮挡、膜厚均匀性及所需靶材，而不是仅按靶位数量判断适用性。
适用任务与应用方向
- 不同靶材的电镜制样
- 复杂表面导电膜制备
- 批量适配样品的SEM观察前处理
配置与技术资料
参数须连同测试条件和选配附件确认。
| 资料项目 | 现有资料表述 |
|---|---|
| 靶位 | 双靶位，靶材直径32 mm |
| 方式 | 低压磁控平面溅射 |
| 样品台 | 升降、倾斜、旋转 |
| 真空腔室 | Φ160 × 120 mm |
围绕 FSEM AA200 的选型核对
| 维度 | 判断依据 | 咨询前准备 |
|---|---|---|
| 观察还是元素分析 | 金属膜和碳膜都会改变表面，可能干扰元素谱。 | 后续是SEM形貌、EDS还是其他分析，重点元素有哪些？ |
| 尺寸与耐受 | 样品台、真空、温度和镀膜厚度共同影响形貌保真。 | 样品尺寸、导电性和热敏性如何，是否含易挥发组分？ |
| 靶材与运行条件 | 靶材、碳源、真空泵及气体条件需对应具体任务。 | 需要哪种膜材、目标膜厚与每批样品数量？ |
附件、耗材与安装条件
将主机、附件、校准和验收条件逐项核对。
核对样品验证与交付服务范围 →先明确方法边界
- 样品状态及制备过程会影响结果，应保留工序、耗材和测量条件。
常见问题
FSEM AA200 的采购配置表应列出哪些内容？
观察还是元素分析、尺寸与耐受、靶材与运行条件
询价 费马科仪 FEMA FSEM AA200 前需提供哪些样品条件？
目标任务可从不同靶材的电镜制样、复杂表面导电膜制备开始说明；还需补充：后续是SEM形貌、EDS还是其他分析，重点元素有哪些？；样品尺寸、导电性和热敏性如何，是否含易挥发组分？；需要哪种膜材、目标膜厚与每批样品数量？
如何核对 FSEM AA200 报价与验收范围？
请将主机型号、靶位、方式、选件、软件和服务逐项对应。验收需约定代表样、测试条件和输出结果，具体价格、交期与服务以双方确认方案为准。
方法与厂商参考资料
参数及应用条件可通过以下原厂与方法资料核对。
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